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產(chǎn)品中心

EUV/XUV波前傳感器

描述:Hartmann波前傳感器(相干和非相干輻射),緊湊結(jié)構(gòu),可以實現(xiàn)光化性能檢測,包括EUVL 等離子源、自由電子激光、HHG高次諧波束,實時光學(xué)調(diào)整。

更新時間:2024-08-20
產(chǎn)品型號:XUV/EUV
廠商性質(zhì):代理商
詳情介紹
品牌其他品牌產(chǎn)地類別進口
應(yīng)用領(lǐng)域環(huán)保,能源,電子,電氣,綜合

主要特點

       Hartmann波前傳感器(相干和非相干輻射)

       緊湊結(jié)構(gòu)

       光化性能檢測

           -EUVL 等離子源

           -自由電子激光

           -HHG高次諧波束

       實時光學(xué)調(diào)整

       單個脈沖重復(fù)性:λ/116 (wrms),for EUV (λ =13.5 nm)


EUV/XUV波前傳感器


技術(shù)規(guī)格

       波長范圍:<1nm~60nm(量子轉(zhuǎn)換涂層)

       視場:9mmX6.7mm(可選更大尺寸)

       動態(tài)范圍:14Bit

       Hartmann 盤:precision pinholes ?75μm, 250μm pitch

       傾角:±10°

       XY調(diào)節(jié)范圍:±10mm

       UHV兼容:CF63法蘭

EUV/XUV波前傳感器EUV/XUV波前傳感器

Wavefront measurement of Free Electron Laser FLASH

(DESY/Hamburg) at λ=13.5nm, before (above) and after

(below) adjustment of beam line optics (B. Fl?ter, K.

Mann, K. Tiedtke et al. NIM A 635, S108–S112 (2011) )


EUV/XUV波前傳感器

Spot pattern @ λ=1.5 nm

(LCLS / Stanford)


EUV/XUV波前傳感器

Reconstructed intensity profile


光束測試軟件

EUV/XUV波前傳感器


測試基于ISO標(biāo)準(zhǔn)

Parameter

Standard

Beam diameter光束直徑

ISO 11146

Divergence

ISO 11146

Beam profile光束剖面

ISO 13694

Pointing 指向/ pos. Stability位置穩(wěn)定性

ISO 11670

M2 質(zhì)量因子/ Focusability聚焦性

ISO 11146

Wavefront 波前 / Phase distribution相位分布

ISO 15367

Coherence 相干

-

Around 20 various camera types are supported





巨力光電(北京)科技有限公司立足于北京市副中心通州區(qū),專門經(jīng)銷歐洲、美國、日本等國家制造的科學(xué)儀器設(shè)備,為客戶提供完備的售前咨詢和售后服務(wù)、技術(shù)支持。公司骨干在該行業(yè)有超過10年的經(jīng)驗,專業(yè)的服務(wù)水平、完善的售后服務(wù)體系。

目前主要產(chǎn)品涉及材料科學(xué)、微納米技術(shù)、表面測量和光電器件、光伏產(chǎn)品、半導(dǎo)體器件的檢測與研發(fā)等領(lǐng)域。公司本著以科技為導(dǎo)向、以客戶為中心、以服務(wù)為宗旨,竭誠為新老客戶提供優(yōu)質(zhì)的服務(wù)!

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